产品介绍

Y2O3 Coating用于半导体DRY ETCH设备的表喷涂，可以有效吸附工艺制程中的污染物，Y2O3涂层具有耐刻蚀，耐磨等优异性能，可以提高设备备件的使用寿命，降低客户更换设备备件所需成本。 

产品特点

产品型号：INNER LINER；UPPER ELECTRODE；GAS INTECTOR。

应用领域

用于半导体DRY ETCH设备的表喷涂。

北京通嘉宏瑞科技有限公司

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