产业生态

INDUSTRIAL    ECOLOGY

磁悬浮分子泵

生产企业:北京通嘉宏瑞科技有限公司

生产介绍:◆ 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势,能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求;
◆ 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转,并可实现各个方位安装。

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产品介绍

◆ 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势,能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求; ◆ 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转,并可实现各个方位安装。

产品特点

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◆ 磁轴承由于无接触、无摩擦、无需润滑及免维护的优势,能够满足高洁净、高真空度分子泵对轴承的苛刻要求;
◆ 磁悬浮分子泵可实现五自由度主动控制使转子在任意角度下稳定运转,并可实现各个方位安装;

◆ 磁轴承系统自身带有位移传感器,易于实现转子在线动平衡;
◆ 通过对磁轴承转子不平衡控制,实现转子绕其惯性主轴旋转,降低因转子旋转带来的同频振动;
◆ 完善的磁轴承故障诊断方法,降低产品故障的风险,延长产品的使用寿命。

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技术参数

型号

GMTP-1400

GMTP-2300

GMTP-3200

抽气速率(N2,L/s)

1400

2300

3200

排气口法兰

DN40 ISO-KF

DN40 ISO-KF

DN40 ISO-KF

进气口法兰

LF200/CF200

LF250/CF250

LF320/CF320

极限压强(Pa)

≤2×10-7 (LF)
≤2×10-9 (CF)

≤2×10-7(LF)
≤2×10-9 (CF)

≤2×10-7 (LF)
≤2×10-9(CF)

建议启动压强(Pa)

≤200

≤200

≤200

额定转速(rpm)

36000(可调)

30000(可调)

28000

启动时间(min)

≤7

≤7

≤10

振动值(um)

≤0.01

≤0.01

≤0.01

建议前级泵(L/s)

8-15

15-22

≥22

水嘴

配外径φ10水管

配外径φ10水管

配外径φ10水管

冷却方式

水冷

水冷

水冷

冷却水流量(L/min)

≥1

≥2

≥3

冷却水压力(MPa)

≥0.15

≥0.15

≥0.15

冷却水温度(℃)

20±5

20±5

20±5

环境温度(°℃)

0~40

0~40

0~40

安装方式

任意位置

任意位置

任意位置

重量(含控制器) (kg)

47

58

80


应用领域

◆ 应用设备:刻蚀机、金属沉积系统、硅外延系统、PVD、CVD、SiC晶体生长系统等。

  联系方式

北京通嘉宏瑞科技有限公司

地址:北京市通州区马驹桥镇科创十五街1号院

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