产品详情● 可抽除含粉尘气体、较大的抽速。
技术参数
| 真空参数 | 物理参数 | ||||||
| 极限压强（Pa） | <5x10-6（LF） <5x10-7（CF） | 入口法兰 | DN400 ISO-K（LF）或CF | ||||
| 抽气速度（L/S） | N2 | He | 出口法兰 | DN100 ISO-K（LF） | |||
| 4200 | 3500 | 建议前级泵（L/s） | 30~70 | ||||
| 压缩比 | >1x108 | >8x103 | 重量（kg） | ≈100 | |||
| 控制器参数 | 轴承 | 陶瓷球轴承 | |||||
| 通信方式 | RS-485 | 安装角度 | 竖直±5° | ||||
| 电源电压（V） | 220VAC（±10%） | 工作环境磁场（mT） | ≤3mT | ||||
| 电源频率（Hz） | 50/60Hz±5% | 环境温度 | 水冷 | 5~40oC | |||
| 额定转速（r/min） | 15600±0.1% | ||||||
| 环境条件 | 无腐蚀性气体和明显粉尘颗粒 环境温度：-10℃~50℃ 环境湿度：≤90% 振动强度：≤0.5g | 冷却水参数 | 流量：≥3L/min | ||||
抽速曲线
● 适用于光学镀膜、真空炉、真空烧结、环境模拟。
联系方式地址：北京市通州区马驹桥镇科创十五街1号院
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