产品详情● 脂润滑分子泵，可任意角度安装、寿命长、节能。
技术参数
| 真空参数 | 物理参数 | ||||||
| 极限压强（Pa） | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | 入口法兰 | DN160 ISO-K（LF）或 CF | ||||
| 抽气速度（L/S） | N2 | He | 出口法兰 | KF40 | |||
| 650 | 550 | 吹扫口 | DN16 ISO-KF | ||||
| 压缩比 | >1x1011 | >1x104 | 建议前级泵（L/s） | 4~10 | |||
| 控制器参数 | 重量（kg） | ≈27 | |||||
| 通信方式 | RS-485 | 振动（μm） | ≤0.05 | ||||
| 电源电压（V） | 220V AC±10% | 轴承 | 脂润滑陶瓷球轴承 | ||||
| 电源频率（Hz） | 50/60±5% | 安装角度 | 任意角度 | ||||
| 最大输入功率（W） | 1000 | 工作环境磁场（mT） | ≤3mT | ||||
| 启动/停车控制方式 | 控制器按键控制启停 RS485控制器启停 DB15控制启停 | 环境温度 | 风冷 | 5~35oC | |||
| 保护功能 | 控制器过流、过压、欠压 过热保护，分子泵过流 过载、过热保护等 | 水冷 | 5~40oC | ||||
| 额定转速（r/min） | 24000±0.1% | 冷却水参数 | 水温：15~25oC ； 压力：0.15Mpa ； 流量：≥1.5L/min | ||||
抽速曲线
● 适用于泛半导体装备、光学镀膜、硬质涂层设备。
联系方式地址：北京市通州区马驹桥镇科创十五街1号院
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